半導(dǎo)體制造包括微芯片構(gòu)建中的許多濕法工序。例如，在各種制造工序之間經(jīng)常使用去離子水等液體和各種溶劑來清潔晶片表面和去除殘留的光刻膠。

在濕法蝕刻工序中，還可以使用其它更具侵蝕性的酸來幫助形成半導(dǎo)體設(shè)備本身的線和通孔。

在這些濕法工序中，所使用的清洗或蝕刻流體經(jīng)常被加熱以提高其效率。人們開發(fā)了用于半導(dǎo)體制造的各種流體加熱器，并且這些加熱器通常使用含氟聚合物來構(gòu)造接觸液體的部件（即加熱器中實際與待加熱流體接觸的部分）。

這些應(yīng)用通常使用以下兩種特殊類型的含氟聚合物：聚四氟乙烯（PTFE）和可溶性四氟乙烯（PFA）。當批次需求量較少，使用PFA所需的模具分攤成本較高的時候，PTFE尤其廣泛地應(yīng)用于泵和閥門和其它接觸液體的部件。本文將考查這兩種材料在半導(dǎo)體流體加熱器接觸液體的表面上使用的適宜性，特別是在制造下一代微芯片中的適宜性。

在先進的半導(dǎo)體制造設(shè)備中，設(shè)備的幾何尺寸量級現(xiàn)已達到10納米級；而幾家******的芯片制造商已經(jīng)宣布開始7納米技術(shù)節(jié)上的產(chǎn)能爬升。

在這些尺寸量級下，芯片的電路密度高得令人難以置信。因此導(dǎo)致芯片故障的微粒污染成為一個主要的問題。因而用于制造這些前沿芯片的制造設(shè)備必須采用確保工藝純度的設(shè)計。雖然PTFE和PFA都是高純度材料，對腐蝕性化學(xué)品和嚴苛環(huán)境都具有優(yōu)異的抵抗力，且由于它們的擴散系數(shù)低而成為出色的阻擋材料，但在這兩種材料中，PFA更不容易受到污染，因而更適合用于亞10 nm制程中接觸液體的部件。

雖然PTFE和PFA分子結(jié)構(gòu)和性能相似，但它們的加工方式有所不同。值得注意的是， PFA的加工工藝比PTFE的加工工藝成本更高。而工藝順序是這兩種材料哪種更適合半導(dǎo)體芯片制造的關(guān)鍵；下面的段落將會對此進行介紹。

由于PTFE熔體粘度高，在加熱時，其分子結(jié)構(gòu)將阻止材料流動。因此PTFE通常使用多工序加工方式。首先，將粉末狀的PTFE樹脂倒入模具中，然后在高壓下壓縮。值得注意的是，這些前道工序本身具有將污染物引入PTFE原料的風險。接下來，燒結(jié)PTFE棒料，隨后根據(jù)塊體的形狀和尺寸完成自適應(yīng)冷卻工序。最后，PTFE棒料被加工成合適的形狀，這是另一個存在污染風險的工序。如果PTFE棒料是干法加工的，那么引入污染物的風險相對較低。然而，如果PTFE棒料是濕法加工的，污染的風險將變高。

相比之下，PFA的分子結(jié)構(gòu)允許熔融加工，因此PFA可以通過注塑成型等傳統(tǒng)的單一工序工藝進行制造。注塑時，PFA材料會在的界面表面產(chǎn)生一層表皮，造成幾乎無法測量的表面粗糙度。

因此，PFA的加工不需要進行任何后加工。加工工序確實會影響制造過程中與半導(dǎo)體工藝化學(xué)品接觸的聚合物的表面光潔度。此外，正如后面的段落將會進行介紹的那樣，接觸液體的部件的表面光潔度是這些部件使用時排斥（或吸引）潛在污染物的關(guān)鍵。

塑料工業(yè)學(xué)會（簡稱為“SPI”）已經(jīng)對塑料的表面加工及其相應(yīng)的平均粗糙度（簡稱為“RA”）做了對應(yīng)。塑料工業(yè)學(xué)會的發(fā)現(xiàn)如表1所示。

表1：塑料工業(yè)學(xué)會提供的模具光潔度

在設(shè)備的幾何量級不斷降低的背景下，在半導(dǎo)體制造中用作液體接觸表面的材料表面粗糙度隨著人們對更高純度要求的增加而變得更加關(guān)鍵，這是因為表面粗糙度與顆粒生成直接相關(guān)。如表中所示，經(jīng)過機加工的塑料，如使用PTFE制造的，通常其平均粗糙度值為3.20RA,相比之下，大多數(shù)注塑成型的，如使用PFA制造的，均符合塑料工業(yè)學(xué)會的B-1 SPI標準或更高標準，典型的表面粗糙度為0.05至0.10μm （B-1）。從而，PFA的光潔度比PTFE同等產(chǎn)品的光潔度高98.4％。

出于所有這些考慮，用于半導(dǎo)體制造的流體加熱器的制造商Heateflex公司和半導(dǎo)體行業(yè)含氟聚合物流體管理解決方案的全球供應(yīng)商圣戈班高純系統(tǒng)業(yè)務(wù)部門決定考查各種PTFE和PFA部件的表面粗糙度。